2024年 12月11日 (水) – 13日 (金) 10:00-17:00 東京ビッグサイトで3日間開催される「SEMICON JAPAN2024」に出展いたします。
これまではバッチ式洗浄装置を主に製造・販売しておりましたが、今回、当社独自のヒーター技術を使った硫酸&過水を使用せずにレジスト剥離できる枚葉式装置を紹介いたします
～HTS Series：EcO3～ Commitment to “Eco-Friendliness” - SEMICON JAPAN 2024