ウエハを1枚ずつチャンバー（処理槽）内で処理する洗浄装置。⾚外線ランプにてウエハ上の薬液を⾼温にするといった特殊な機能を搭載し、処理性能及び処理能⼒の向上、使⽤薬液の削減が可能です。