株式会社JET/株式会社ジェイ・イー・ティー

特徴 FEATURES

• クリーンユニット装置
• 液滴量精度(±10%未満)、液滴回収度(90%以上)
• 液滴量MAX200μl可能(ただし液組成により異なる)

• AAS分析により10atoms/cm²(8インチウェーハ)
  レベルの回収実績有り(ただし液組成により異なる)
• モード設定により自由な範囲でのスキャンが可能
• 各ウェーハごとに専用液滴保持具を使用することでクロスコンタミネーションを制御
• CEマーク対応