VRC Series VRC310S/VRC200S PRODUCTS

気相分解残留物回収装置

特徴 FEATURES

  • クリーンユニット装置
  • 液滴量精度(±10%未満)、液滴回収度(90%以上)
  • 液滴量MAX200μl可能(ただし液組成により異なる)

 

  • AAS分析により10atoms/cm²(8インチウェーハ)
    レベルの回収実績有り(ただし液組成により異なる)
  • モード設定により自由な範囲でのスキャンが可能
  • 各ウェーハごとに専用液滴保持具を使用することでクロスコンタミネーションを制御
  • CEマーク対応
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