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SC Series　PRODUCTS

歩留まり向上に貢献する新開発装置

特徴 FEATURES

  • ハイスループット
    Process time Through-Put
    Front Side 450WPH
    Both Sides 225WPH

その他 OTHER FEATURES

  • 省フットプリント
    2階建て構造、4階建て構造
  • ウェーハ洗浄方法
    ブラシ
    SNスプレー〈Super Nano スプレー：2流体〉
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