Dryer MMDS PRODUCTS

乾燥能力従来機種より乾燥時間最大50秒短縮(Transfer Time含む)IPAベーパー凝縮乾燥機

特徴 FEATURES

  • 2タイプから選択可能なIPAミスト発生システム
  • 1.Injection system
    IPA濃度コントロール
    IPA流量を、個別に調節可能
  • 2.Budding system
    N2ガス温度をHOT.COOLと選択可能
    発生方法を低濃度、高濃度の2種類切り替え可能
  • 2タイプから選択可能なIPAミスト噴射方式
  • 1.間接噴射方式
    乾燥チャンバー内でのIPA濃度の均一化
    乾燥時間の短縮→250~300sec(Transfer Time含む)
  • 2.直接噴射方式
    チャンバー上部からのIPA ミスト噴射方式

その他 OTHER FEATURES

  • 酸素フリー下での連続処理が可能
    RD mode (DIW) rinse-dry
    FRD mode DHF - (DIW) rinse-dry
  • ユニフォミティ:Oxide Etch Uniformity
    30A±4%(FMMDSモードのみ)
  • テクノロジーノード:45nm対応可
  • 特許取得済

Dryer Zero-System PRODUCTS

IPA低使用量を実現!

特徴 FEATURES

  • IPA常温蒸気を採用
  • IPA低使用量

その他 OTHER FEATURES

  • 弊社既存装置からの置き換えを考慮したフレキシブル構造
  • 薄化ウェーハ対応
  • 特許申請中
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