Dryer MMDS PRODUCTS
特徴 FEATURES
- 2タイプから選択可能なIPAミスト発生システム
- 1.Injection system
IPA濃度コントロール
IPA流量を、個別に調節可能
- 2.Budding system
N2ガス温度をHOT.COOLと選択可能
発生方法を低濃度、高濃度の2種類切り替え可能
- 2タイプから選択可能なIPAミスト噴射方式
- 1.間接噴射方式
乾燥チャンバー内でのIPA濃度の均一化
乾燥時間の短縮→250～300sec(Transfer Time含む)
- 2.直接噴射方式
チャンバー上部からのIPA ミスト噴射方式
その他 OTHER FEATURES
- 酸素フリー下での連続処理が可能
RD mode (DIW) rinse-dry
FRD mode DHF - (DIW) rinse-dry
- ユニフォミティ：Oxide Etch Uniformity
30A±4%(FMMDSモードのみ)
- テクノロジーノード：45nm対応可
- 特許取得済
Dryer Zero-System PRODUCTS
その他 OTHER FEATURES
- 弊社既存装置からの置き換えを考慮したフレキシブル構造
- 薄化ウェーハ対応
- 特許申請中
