BW series 3000/2000 PRODUCTS

生産性効率化に威力を発揮!

ローダーとアンローダーを分離することにより、世界トップクラスのウェーハ処理スピードを実現。Foupインナーバッファーを標準装備し、Foupチェンジ機能も搭載。また、人間工学に基づいた高い操作性を実現。優れたパフォーマンスで、生産性の向上に貢献します。付帯設備の内蔵、水冷ジャケットの開発による余剰空間の削減などにより省スペース化も図っています。

特徴 FEATURES

  • スループットの向上、高速L/D,L/D(I-Type)の採用
    (MAX≦500wafer/h 300mm)
  • 省フットプリント
  • CoO削減

その他 OTHER FEATURES

  • 気流制御
  • 完全標準化(性能安定、Set Up時間の短縮)
  • SEMI Standard
  • SECS/GEM対応
  • EES(EDA or TDI)対応

ウェーハ搬送方式

ウェーハ搬送方式は仕様に応じて3タイプから選択できます。

気流制御

排気口の追加、シール構造の採用、アーム部分へのカバー取り付けによるヒュームの拡散を防止。排気口の変更でスムーズな排気を実現しました。

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