BW series 3000/2000 PRODUCTS
ローダーとアンローダーを分離することにより、世界トップクラスのウェーハ処理スピードを実現。Foupインナーバッファーを標準装備し、Foupチェンジ機能も搭載。また、人間工学に基づいた高い操作性を実現。優れたパフォーマンスで、生産性の向上に貢献します。付帯設備の内蔵、水冷ジャケットの開発による余剰空間の削減などにより省スペース化も図っています。
特徴 FEATURES
- スループットの向上、高速L/D,L/D(I-Type)の採用
(MAX≦500wafer/h 300mm) - 省フットプリント
- CoO削減
その他 OTHER FEATURES
- 気流制御
- 完全標準化(性能安定、Set Up時間の短縮)
- SEMI Standard
- SECS/GEM対応
- EES(EDA or TDI)対応
ウェーハ搬送方式
ウェーハ搬送方式は仕様に応じて3タイプから選択できます。
気流制御
排気口の追加、シール構造の採用、アーム部分へのカバー取り付けによるヒュームの拡散を防止。排気口の変更でスムーズな排気を実現しました。
