MCT-3000
MCT-3000
特長 FEATURES

​◎ 金属触媒反応を用いた、微細ナノテクスチャー形成装置

◎ 従来手法では困難な固定砥粒スライスウエハのテクスチャー形成が可能

◎ 一台二役!単結晶、多結晶どちらも処理が可能

◎ 半導体装置で培ったノウハウを活かしたコンパクトな設計

◎ 薬液濃度制御に独自技術を採用し低ランニングコストを実現​