半導体製品一覧-PRODUCTS

SSD Series
3000/2000
2階建てタイプにすることで、更なるスループットの向上及び省フットプリント化を実現しました。
BW Series
3000/2000
独自の機構や省スペース対策を採用することにより、省フットプリントを達成。
SC Series
歩留まり向上に貢献する新開発装置。
Bevel
Treatment
LIBRA
歩留まり向上に大きく貢献
DryerMMDS/
Zero-System
乾燥能力従来機種より乾燥時間最大50秒短縮
QUANTUM
Series
高スループット、ハイ・クオリティ、低価格キャリアレスを実現。
VRC Series
VRC310S/
VRC200S
気相分解残留物回収装置。
その他の装置
ローコスト、カスタムメイドに対応
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